The role of microwave plasma temperature during graphene nanosheets deposition on dielectric substrate: Modelling and experiment

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Role teploty mikrovlnného plazmatu během depozice grafenu na dielektrický substrát: Modelování a experiment
Autoři

KUBEČKA Martin TOMAN Jozef ŠNÍRER Miroslav JAŠEK Ondřej KUDRLE Vít JURMANOVÁ Jana

Rok publikování 2020
Druh Článek ve sborníku
Konference NANOCON Conference Proceedings - International Conference on Nanomaterials
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www Web konference
Doi http://dx.doi.org/10.37904/nanocon.2019.8455
Klíčová slova Graphene; microwave plasma; temperature; dielectric substrate
Přiložené soubory
Popis Vztah mezi teplotou plazmy a vlastnostmi vrstvy naneseného grafenu nanesené na Si / SiO2 substrát rozkladem ethanolu ve výboji mikrovlnného plazmového hořáku za atmosférického tlaku byl zkoumány v závislosti na dodaném mikrovlnném výkonu a rychlostech toku plynu. Bylo provedeno plazmové modelování ven pomocí softwaru COMSOL Multiphysics s dodaným mikrovlnným výkonem, průtoky plynu a experimentální geometrie reaktoru jako vstupní parametry. Byly porovnány výsledky modelování toku tepla a dynamiky tekutin s teplotou substrátu měřenou termočlánkem integrovaným do držáku substrátu z křemenné trubice. The vrstva grafenových nanočástic byla charakterizována metodou SEM, Ramanovou spektroskopií a 4bodovou sondovou metodou. The vrstvy byly silné několik desítek mikrometrů a jejich listový odpor se pohyboval od 2 do 40 kiloohm/m2. Vlastnosti jednotlivé grafenové nanosheety, poměr 2D/G a D/G Ramanova pásma, stejně jako jejich listová rezistence vodivé sítě korelovaly se zvýšením teploty plazmy se zvyšujícím se mikrovlnným výkonem. Teplota substrátu se lineárně zvyšovala s dodaným mikrovlnným výkonem a odporem vrstvy klesala se zvyšujícím se mikrovlnným výkonem a nasycená při 2 kiloohm/sq a D/G poměr 0,6.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.