Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm.

Autoři

PEKAŘ Václav BŘEZINA Jaromír ŠKODA David OHLÍDAL Ivan VOHÁNKA Jiří FRANTA Daniel FRANTA Pavel DVOŘÁK Jan OHLÍDAL Miloslav ŠULC Václav KLAPETEK Petr HAVLÍČEK Marek

Rok publikování 2022
Druh Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
Popis Realizace děličů světla splňující požadavky odrazivosti a propustnosti na pracovní vlnové délce 248 nm a inspekční vlnové délce v intervalu <630, 670> nm. Vrstvy prvního děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů HfO2/SiO2 a splňují specifikaci: propustnost pro p-složku 50 % ± 3 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 50 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách od 630 nm do 670 nm. Vrstvy druhého děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů Al2O3/SiO2 a splňují specifikaci průměrná propustnost vyšší než 98,5 %, odrazivost pro p-složku v rozmezí od 0,4 % do 0,75 % a odrazivost pro s-složku menší než 1 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 25 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách 630 nm až 670 nm.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.