Structural characterization of reactive ion-etched semicond uctor nanostructures using x-ray reciprocal space mapping
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 1996 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Mat. Res. Soc. Symp. Proc. |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Související projekty: |