Deposition of polymer films in diffuse coplanar surface discharge
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 2003 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Proceedings of 16th ISPC |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | Deposition; polymer films;coplanar discharge |
| Popis | Deposition of polymer films in diffuse coplanar surface discharge |
| Související projekty: |