Improved calibration procedure of an RF plasma impedance probe

• Autoři: KUDRLE Vít; ZAJÍČKOVÁ Lenka; WIESEMANN Klaus
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of ISPC 14
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasma impedance

Přiložené soubory

• ispc03.zip

• Popis: Improved calibartion procedure of an RF plasma impedance probe

Související projekty

• Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie