Infrared Absorption Spectroscopy of Oxygen Precipitates in Czochralski Silicon
| Název česky | Infračervená absorpční spektroskopie kyslíkových precipitátů v Czochralského křemíku |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2004 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | WDS'04 Proceedings of Contributed Papers |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | Infrared; Silicon; Oxygen; Precipitates |
| Popis | Analyzovali jsme infračervená spektra propustnosti Czochralského křemíku. Díky měrení na teplotě kapalného dusíku jsme identifikovali příspěvek kyslíkových precipitátů. Pro určení tvaru a objemového podílu těchto částic byl použit model efektivního prostředí. |
| Související projekty: |