Influence of the pulse duration of fast high power magnetron discharge on the amount of ion collected on the substrate

• Název česky: Vliv delky pulzu pulzniho magnetronu na mnozstvi iontu na substratu
• Autoři: VAŠINA Petr; MRÁZKOVÁ Martina; MEŠKO Marcel; IMBERT Jean-Christophe; GANCIU Mihai; BOISSE-LAPORTE Caroline; DE POUCQUES Ludovic; TOUZEAU Michel; PAGNON Daniel; BRETAGNE Jean
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceeding of 27th International Conference on Phenomena in Ionised Gases
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: magnetron sputtering; plasma diagnostics; pulsed discharge
• Popis: Studium magnetronového výboje rovinnou Langmuirovou sondou.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu