Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge

• Název česky: Srovnání ionizační účinnosti mikrovlnného a radio-frekvenčního výboje doprovázejícího magnetronový výboje
• Autoři: DE POUCQUES Ludovic; IMBERT Jean-Christophe; VAŠINA Petr; BOISSE-LAPORTE Caroline; TEULÉ-GAY Lionel; BRETAGNE Jean; TOUZEAU Michel
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Surface and Coating Technology
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: IPVD; sputtering; magnetron discharge; microwave discharge; RF discharge; absorption spectroscopy
• Popis: Srovnání dvou zdrojů ionisace pri magnetronovém naprašováni, dodatečného mikrovlnného a RF výboje.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu