Reduction of transient regime in fast preionized high power pulsed magnetron discharge

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Omezení pechodového režimu pi pulzním magnetronovém naprašování
Autoři	VAŠINA Petr MEŠKO Marcel GANCIU Mihai BRETAGNE Jean BOISSE-LAPORTE Caroline DE POUCQUES Ludovic TOUZEAU Michel
Rok publikování	2005
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Europhysics Letters
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	pulsed magnetron; sputtering; preionization
Popis	Prezentace stabilního pulzního magnetronového výboje. Pro stabilizicaci depoziního procesu byla použita preionizace.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu