REFRACTORY METAL FILM DEPOSITION BY THERMIONIC VACUUM ARC METHOD
| Název česky | Depozice kovových vrstev metodou vakuového termoionického oblouku |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | 17th ISPC |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | REFRACTORY METAL; FILM DEPOSITION; THERMIONIC VACUUM ARC METHOD |
| Popis | Depozice kovových vrstev metodou vakuového termoionického oblouku |
| Související projekty: |