Mechanical properties of thin silicon films deposited on glass and plastic substrates studied by depth sensing indentation technique
| Název česky | Studium mechanických vlastností tenkých křemíkových vrstev deponovaných na skleněné a plastové podložky instrumentovanou indentační technikou |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2006 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Journal of Non-Crystalline Solids |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | amorphous semiconductors; silicon; mechanical properties; creep; hardness; intendation; microintendation;ELASTIC-MODULUS; COATED SYSTEMS |
| Popis | Studium mechanických vlastností tenkých křemíkových vrstev deponovaných na skleněné a plastové podložky instrumentovanou indentační technikou |
| Související projekty: |