In-situ spectroscopic ellipsometry: optimization of monitoring and closed-loop-control procedures

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	In-situ spectroscopická elipsometie: optimmalizace of monitorovacích a řídicích procedur
Autoři	HUMLÍČEK Josef
Rok publikování	2008
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	physica status solidi (a), Applied research
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova	in situ ellipsometry; monitoring; closed loop control
Popis	Diskutujeme optimalizovanou extrakci informace obsažené v serii komplexních poměrů odrazivostí z in situ elipsometrických měření pořízených během růstu tenkých vrstev. Předkládáme obecné výpočetní schema a diskutujeme vodítka pro optimální zacházení s daty. Jako příklad uvádíme analýzu nekolika stovek spekter zaznamenaných při růstu diamantu podobných uhlíkových vrstev na sustrátech ocel/TiN.
Související projekty:	Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur