On the effect of carbon content on the mechanical properties of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by balanced magnetron sputtering

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	SOUČEK Pavel SCHMIDTOVÁ Tereza ZÁBRANSKÝ Lukáš BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr CAHA Ondřej BURŠÍK Jiří PEŘINA Vratislav
Rok publikování	2011
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Thick hard adherent nc-TiC/a-C:H coatings were prepared by a hybrid PVD-PECVD process of Ti target sputtering in Ar/C2H2 atmosphere. The effect of carbon content on mechanical properties such as hardness, Young’s modulus and internal stress is studied in this contribution.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy