Structural and Ferromagnetic Properties of Sputtered FeCoB/AlN Soft Magnetic Multilayers for GHz Applications

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Strukturní a feromagnetické vlastnosti naprašovaných měkkých magnetických multivrstev FeCoB/AlN pro GHz aplikace
Autoři

FALUB Claudiu Valentin HIDA Rachid MEDUŇA Mojmír ZWECK Josef MICHEL Jean-Philippe SIBUET Henri SCHNEIDER Daniel BLESS Martin RICHTER Jan H. ROHRMANN Hartmut

Rok publikování 2017
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/7924320/
Doi http://dx.doi.org/10.1109/TMAG.2017.2703175
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova FeCoB; high-frequency permeability; magnetic multilayers; magnetron sputtering; soft magnetic materials
Popis V tomto článku jsme studovali strukturní a magnetické vlastnosti amorfních tenkovrstvých vrstev FeCoB/AlN s rovinnou jednoosovou magnetickou anizotropií založenou na slitině Fe-28% Co-20% B, vypěstované na 8" Si/200 nm-termo-SiO2 deskách v průmyslovém, vysoce výkonném magnetronovém rozprašovacím systému.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.